顧客アプリケーション

レンズアセンブリ

需要

リニアモーターブリッジ式大理石プラットフォーム

コンビネーションモード

ビームふくどうしたんじく

XYちょつこうじゅうじ

じくばんごう

X1

X2/Y1

ストローク

840mm

110mm/300mm

インストール方法

へきめん

水平

ふか

10kg

5kg

可動子数

2

シングルアクチュエータ

最大速度

2m/s

1m/s

最大加速度

1.5G

1G

一軸再生精度

±0.5um

±0.5um

単軸位置決め精度（補正後）

±0.5um

±0.5um

ちょくせんど

≤5um

≤5um

プラットフォーム平面度

≤5um

組合せ後平面度が5 um以内

橋台とプラットフォームの平行度

≤5um

橋梁とプラットフォームの垂直度

≤5um

プラットフォーム外形寸法公差

±1mm

その他

済南青大理石の材質、THK SHSタイプH段ガイドラスター内蔵、十字の組み合わせXY垂直度≦5um;Igusドラッグチェーン;X2軸の全長は超えない340mm、幅は超えない117mm;大理石のテーブルからXY軸の重ね合わせ高さは167mm;ドライバ内蔵補償、オムロンまたはパナソニック光電スイッチ

コンビネーションモデル

TLM3HX-B0952P-B0552S-B0752S-840-110-300-C111E

単軸モデル

X1:TLM160-B0952P-2-0840-C111E

X2:TLM115-B0552S-1-0110-G111

Y: TLM140-B0752S-1-0300-G111E

モータ構成

フィードバック：RENISHAW 0.1umラスタ*2

リードヘッド：Q4BCY05D20A*2

ラスタゲージ: RTLC40-S*2

零点シール: A-9653-0143*2

ドライブ：CDHD20062AAF1 *2

エンコーダ線：TLMSA-EHC-R-G-S-L05 *2

動力線：TLMSA-PWC-0.75-L05 *2

フィードバック：RENISHAW 0.2umラスタ*2
リードヘッド：Atom4t0-300 *2
サブディビジョンボックス:RI0200A12B *2
ラスタゲージ:A-9407-0020 *1

ラスタゲージ:A-9407-0040 *1

零点シール:A-9402-0049 *1

ドライブ：CDHD20032AAF1 *2

エンコーダ線：TLMSA-EHC-R-G-S-L05 *2

動力線：TLMSA-PWC-0.5-L05 *2